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項目概況
等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng) 招標項目的潛在投標人應在華采招標集團有限公司（北京市豐臺區(qū)廣安路9號國投財富廣場6號樓1601室）獲取招標文件，并于2024年05月28日 14點00分（北京時間）前遞交投標文件。
一、項目基本情況
項目編號：HCZB-2024-ZB0349
項目名稱：等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng)
預算金額：320.000000 萬元（人民幣）
采購需求：
碳基柵疊層項目是為推動碳基芯片的發(fā)展而設(shè)立，氧化硅和氮化硅薄膜是碳基器件測墻薄膜主要組成，等離子增強化學氣相沉積是沉積氧化硅和氮化硅薄膜最主要的工藝，具有沉積速率快，沉積溫度低的特點，其原理是在射頻源驅(qū)動下，通過感應耦合ICP方式、在反應腔的上電極、下電極之間生成高密度等離子體，通過氣路系統(tǒng)進入反應腔的工藝氣體分子被電離生成等離子體；等離子體中的自由基發(fā)生化學反應、生成氧化硅、氮化硅等介質(zhì)，在襯底材料（例如硅、砷化鎵等半導體材料）上沉積成固體薄膜，對推進碳基集成電路的研發(fā)非常重要。具體詳見招標文件第四章采購需求。
合同履行期限：合同簽訂后240天交貨并安裝完畢
本項目( 不接受 )聯(lián)合體投標。
二、申請人的資格要求：
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
無
3.本項目的特定資格要求：(1)投標人必須為投標文件遞交截止之日前未被列入“信用中國”網(wǎng)站（www.creditchina.gov.cn）、中國政府采購網(wǎng)（www.ccgp.gov.cn）信用記錄失信被執(zhí)行人、重大稅收違法失信主體、政府采購嚴重違法失信行為記錄名單的；(2)不同投標人的法人、單位負責人不是同一人也不存在直接控股、管理關(guān)系；(3)投標人必須向采購代理機構(gòu)購買招標文件并登記備案，未向采購代理機構(gòu)購買招標文件并登記備案的無資格參加本次投標；(4)本項目不接受聯(lián)合體投標；(5)本項目接受進口產(chǎn)品；(6)本項目非專門面向中小企業(yè)
三、獲取招標文件
時間：2024年05月07日 至 2024年05月13日，每天上午9:00至12:00，下午13:00至17:00。（北京時間，法定節(jié)假日除外）
地點：華采招標集團有限公司（北京市豐臺區(qū)廣安路9號國投財富廣場6號樓1601室）
方式：現(xiàn)場獲取，攜帶現(xiàn)金，招標文件售后不退。
售價：￥500.0 元，本公告包含的招標文件售價總和
四、提交投標文件截止時間、開標時間和地點
提交投標文件截止時間：2024年05月28日 14點00分（北京時間）
開標時間：2024年05月28日 14點00分（北京時間）
地點：北京市豐臺區(qū)廣安路9號國投財富廣場6號樓15層1518第一會議室
五、公告期限
自本公告發(fā)布之日起5個工作日。
六、其他補充事宜
1、本項目需要落實的政府采購政策：節(jié)約能源、保護環(huán)境、扶持不發(fā)達地區(qū)和少數(shù)民族地區(qū)、促進中小微企業(yè)發(fā)展、支持監(jiān)獄、戒毒企業(yè)發(fā)展、促進殘疾人就業(yè)、支持脫貧等政府采購政策。
2、本項目招標公告在中國政府采購網(wǎng)（http://www.ccgp.gov.cn/）上發(fā)布。
七、對本次招標提出詢問，請按以下方式聯(lián)系。
1.采購人信息
名 稱：北京大學
地址：北京市海淀區(qū)頤和園路5號
聯(lián)系方式：吳老師62758587
2.采購代理機構(gòu)信息
名 稱：華采招標集團有限公司
地 址：北京市豐臺區(qū)廣安路9號國投財富廣場6號樓1601室
聯(lián)系方式：崔麗潔、趙娜、劉金秀、金珊010-63509799-8037/8079
3.項目聯(lián)系方式
項目聯(lián)系人：崔麗潔、趙娜、劉金秀、金珊
電 話： 010-63509799-8037/8079
| 附件下載：0349招標公告.docx |
