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MEMS振動傳感器可用于機械中的振動和位移、轉(zhuǎn)子與機殼的熱膨脹量的長期監(jiān)測；生產(chǎn)線的在線自動檢測和自動控制；科學研究中的多種微小距離和微小運動的測量等。MEMS振動傳感器已廣泛應用于能源、化工、醫(yī)學、汽車、冶金，機器制造，軍工，科研教學等諸多領(lǐng)域。
MEMS振動傳感器作為獲取信息的關(guān)鍵器件，對各種傳感裝置的微型化起著巨大的推動作用。隨著MEMS技術(shù)的快速發(fā)展使得MEMS傳感器受到各發(fā)達國家的廣泛關(guān)注，紛紛將MEMS傳感器技術(shù)作為戰(zhàn)略性的研究領(lǐng)域之一，并制定相關(guān)的計劃并投入巨資進行專項研究。
近期，國家光電子中心圓滿完成了清華大學科研成果——MEMS振動傳感器樣品的檢測任務(wù)。
MEMS振動傳感器既是國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(863計劃)制造裝備檢測用多功能微納傳感器專項的科研成果，也是針對武漢鍋爐股份有限公司關(guān)于在超高溫條件下監(jiān)測鍋爐內(nèi)振動環(huán)境要求的研制成果。
科研成果驗收是科研創(chuàng)新的關(guān)鍵所在，檢驗檢測則是科研成果驗收的主要手段。MEMS振動傳感器屬于科研成果，在國內(nèi)還沒有相關(guān)的測試標準。按照該項目驗收要求，國家光電子中心與項目科研人員充分溝通交流，結(jié)合國家相似類別設(shè)備標準提出檢測方案，并通過檢測結(jié)果表明該傳感器已達到設(shè)計目標，凸顯了檢驗檢測對科技創(chuàng)新的基礎(chǔ)支撐作用。
MEMS傳感器作為國際競爭戰(zhàn)略的重要標志性產(chǎn)業(yè)，以其技術(shù)含量高、市場前景廣闊等特點備受世界各國的關(guān)注。近十年來，中國MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)系統(tǒng)也正逐步完善，從研發(fā)、設(shè)計、代工、封測到應用，完整產(chǎn)業(yè)鏈已基本形成，國家對MEMS傳感器行業(yè)也給予了前所未有的政策支持。
我國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨了重大的機遇，特別是移動互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展，將對MEMS產(chǎn)業(yè)產(chǎn)生深遠的影響，并將催生大量新的產(chǎn)品、新的應用，帶動MEMS產(chǎn)品在日常生活及工業(yè)生產(chǎn)中的普及化。
文章鏈接：中國儀表網(wǎng)
