5月19日,多氟多新材料股份有限公司發(fā)布公告稱,多氟多正式進(jìn)入臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司南京工廠(以下簡(jiǎn)稱“臺(tái)積電”)合格供應(yīng)商體系。這標(biāo)志著半導(dǎo)體行業(yè)關(guān)鍵原材料的國(guó)產(chǎn)化再下一城。當(dāng)日多氟多董事長(zhǎng)李世江接受了中國(guó)化工報(bào)記者的獨(dú)家專訪。
臺(tái)積電是全球規(guī)模最大的半導(dǎo)體企業(yè)之一,代表著世界半導(dǎo)體工業(yè)的最高水平。李世江表示,在經(jīng)過(guò)臺(tái)積電嚴(yán)格細(xì)致的文件審查、現(xiàn)場(chǎng)審核和多輪上線測(cè)試后,多氟多正式進(jìn)入臺(tái)積電合格供應(yīng)商體系,目前已經(jīng)開(kāi)始向臺(tái)積電(南京)有限公司批量交付高純電子化學(xué)品材料。
電子級(jí)氫氟酸是電子化學(xué)品中的重要組成部分,主要用于集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗和刻蝕工序。多氟多生產(chǎn)的電子級(jí)氫氟酸品質(zhì)達(dá)到UPSSS級(jí),產(chǎn)品純度達(dá)到PPT級(jí),是目前半導(dǎo)體用電子級(jí)氫氟酸的最高級(jí)別。
李世江表示,世界高端半導(dǎo)體市場(chǎng)長(zhǎng)期以來(lái)被國(guó)外企業(yè)所壟斷,我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵設(shè)備和八成以上的關(guān)鍵原材料長(zhǎng)期依賴進(jìn)口,嚴(yán)重影響了我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的健康有序發(fā)展。自2015年開(kāi)始,多氟多以半導(dǎo)體市場(chǎng)8英寸客戶為起點(diǎn),不斷研究新技術(shù)、開(kāi)拓新市場(chǎng),以電子級(jí)氫氟酸為代表的高純電子化學(xué)品接連取得重要突破,并逐漸被國(guó)內(nèi)國(guó)外的半導(dǎo)體龍頭企業(yè)所認(rèn)可和使用。
據(jù)了解,自2018年開(kāi)始,多氟多的高純電子化學(xué)品相繼成功進(jìn)入美國(guó)、韓國(guó)等全球領(lǐng)先半導(dǎo)體公司的供應(yīng)鏈,并逐步大批量供應(yīng)國(guó)內(nèi)多條8英寸和12英寸半導(dǎo)體芯片產(chǎn)線。同時(shí),多氟多電子級(jí)硅烷產(chǎn)品已開(kāi)始供應(yīng)臺(tái)積電臺(tái)灣工廠,中芯國(guó)際、海力士、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)等半導(dǎo)體企業(yè)都已開(kāi)始測(cè)試。
為更好地滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)電子化學(xué)品持續(xù)增長(zhǎng)的需求,多氟多正在建設(shè)年產(chǎn)3萬(wàn)噸超凈高純電子級(jí)氫氟酸、年產(chǎn)3萬(wàn)噸超凈高純濕電子化學(xué)品、100噸高純乙硅烷、100噸高純氟氮混合氣、300噸高純四氟化硅等項(xiàng)目,今年下半年將陸續(xù)建成投產(chǎn),并根據(jù)市場(chǎng)情況逐步釋放產(chǎn)能。
李世江表示,站在能源革命和數(shù)字化革命的交點(diǎn)上,聚焦攻克“卡脖子”難題,經(jīng)過(guò)“十年磨半劍”的技術(shù)創(chuàng)新積淀,多氟多進(jìn)入了健康發(fā)展的快車(chē)道。