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4月23日，多氟多“磷肥副產(chǎn)氟硅酸生產(chǎn)超純電子級氫氟酸關(guān)鍵技術(shù)及裝備”項目，通過由中國石油和化學工業(yè)聯(lián)合會組織的科技成果鑒定。鑒定委員會認為，該技術(shù)整體達到國際先進水平，氟硅酸制工業(yè)無水氟化氫聯(lián)產(chǎn)高品質(zhì)白炭黑技術(shù)部分達到國際領(lǐng)先水平。

超純電子級氫氟酸作為芯片制造行業(yè)不可替代的關(guān)鍵電子化學品，其關(guān)鍵技術(shù)和核心裝備被德日等少數(shù)化工企業(yè)掌握并長期壟斷，嚴重制約著我國芯片產(chǎn)業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展，是亟待攻克的“卡脖子”技術(shù)。

面對國家重大戰(zhàn)略需求，多氟多經(jīng)過持續(xù)攻關(guān)，自主開發(fā)了以磷肥副產(chǎn)氟硅酸為原料生產(chǎn)工業(yè)無水氟化氫的氟硅酸—氨解—熱解循環(huán)耦合工藝，構(gòu)建氨、氟化鈉的閉路循環(huán)體系；開發(fā)了氟氣預氧化砷—反應精餾—多級膜過濾純化生產(chǎn)超純電子級氫氟酸工藝體系，從工藝、裝備、環(huán)境、質(zhì)量控制等方面突破了痕量雜質(zhì)脫除關(guān)鍵技術(shù)；建成了首套磷肥副產(chǎn)氟硅酸生產(chǎn)萬噸級超純電子級氫氟酸聯(lián)產(chǎn)高品質(zhì)白炭黑生產(chǎn)裝置。

據(jù)悉，超純電子級氫氟酸產(chǎn)品經(jīng)第三方單位檢測，優(yōu)于SEMI G5級標準。已經(jīng)成功應用于國內(nèi)外高端芯片制造企業(yè)，進入了韓國三星和LG供應體系，成為臺積電在中國大陸唯一的電子級氫氟酸合格供應商，成功實現(xiàn)進口替代，有力支撐了我國電子材料和芯片行業(yè)的發(fā)展。

項目獲得授權(quán)專利23項，制定了《工業(yè)無水氟化氫》《工業(yè)高純氫氟酸》等6項國家與行業(yè)標準，承擔了國家產(chǎn)業(yè)振興和技術(shù)改造項目、國家綠色低碳技術(shù)攻關(guān)項目、國家產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)再造工程等重點專項6項，成為無機氟新材料領(lǐng)域的典范。

此外，鑒定委員會對項目技術(shù)路線、創(chuàng)新點、技術(shù)指標等方面給出建議與意見，為下一步高質(zhì)量申報科學技術(shù)獎打下基礎(chǔ)。