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國(guó)產(chǎn)化取得諸多進(jìn)展
據(jù)中國(guó)電子氣體百人會(huì)會(huì)長(zhǎng)、中船(邯鄲)派瑞特氣股份有限公司副董事長(zhǎng)李紹波介紹，近年來(lái)的持續(xù)發(fā)力使我國(guó)在電子特氣國(guó)產(chǎn)化方面取得了諸多進(jìn)展。
有關(guān)數(shù)據(jù)顯示，當(dāng)前全球市場(chǎng)(集成電路)規(guī)模排名前十的電子特種氣體，我國(guó)已完成多種產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化布局，其中在8吋制程上我國(guó)電子特氣基本國(guó)產(chǎn)化(不含前驅(qū)體)。
“電子特氣是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的支撐材料。近年來(lái)，隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，我國(guó)電子特氣的種類(lèi)和產(chǎn)量增加明顯，進(jìn)一步滿足了市場(chǎng)需求。”李紹波表示，在晶圓制造工藝中，所需電子氣體(含前驅(qū)體)共130余種，目前我國(guó)本地化供應(yīng)市場(chǎng)的種類(lèi)約為40%；顯示面板制造過(guò)程中所用到的各類(lèi)電子氣體近30種，基本實(shí)現(xiàn)本地化供應(yīng)；在光伏產(chǎn)業(yè)鏈中，電子特氣主要用在多晶硅、長(zhǎng)晶和電池工藝環(huán)節(jié)，有18種之多，全部實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)化。
“根據(jù)行業(yè)統(tǒng)計(jì)，2023年前三季度，我國(guó)主要電子特氣企業(yè)銷(xiāo)售收入約36億元，利潤(rùn)約6.3億元。2019年至2022年，我國(guó)電子特氣行業(yè)復(fù)合增長(zhǎng)率維持在30%以上，雖然2023年受大環(huán)境影響需求有所下降，但相關(guān)機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè)我國(guó)境內(nèi)電子特氣市場(chǎng)規(guī)模仍達(dá)198億元。”李紹波說(shuō)。
市場(chǎng)需求與日俱增
在半導(dǎo)體材料中，電子氣體是僅次于大硅片的市場(chǎng)需求第二大品種。電子特氣在晶圓制造過(guò)程中占材料成本的14%左右，幾乎滲透到集成電路生產(chǎn)的每個(gè)環(huán)節(jié)，對(duì)集成電路的性能、集成度和成品率都有很大影響。
“從全球晶圓廠產(chǎn)能擴(kuò)張情況看，根據(jù)IC Insights預(yù)測(cè)，2025年全球12寸晶圓廠預(yù)計(jì)從2020年的131座增加到170座，增長(zhǎng)30%；12寸晶圓制造產(chǎn)能從650萬(wàn)片增加到920萬(wàn)片，增長(zhǎng)42%，將帶動(dòng)電子特氣產(chǎn)業(yè)發(fā)展。”李紹波分析說(shuō)。
從主要下游光伏產(chǎn)業(yè)看，碳達(dá)峰、碳中和的發(fā)展目標(biāo)給光伏產(chǎn)業(yè)注入了強(qiáng)心劑，刺激新增裝機(jī)需求高速增長(zhǎng)。另外，我國(guó)在多晶硅、電池片、組件等規(guī)模上遙遙領(lǐng)先，持續(xù)的產(chǎn)業(yè)研發(fā)和技術(shù)創(chuàng)新，也將為電子特氣產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入更多活力。
北方集成電路技術(shù)創(chuàng)新中心(北京)有限公司總經(jīng)理康勁博士表示，近年來(lái)，我國(guó)半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷壯大，自給能力逐漸增強(qiáng)，涌現(xiàn)出三氟化氮(NF?)、鉬及鋁合金靶等眾多具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品，國(guó)際市場(chǎng)占有率逐步提高。
據(jù)介紹，NF?在半導(dǎo)體加工、太陽(yáng)能電池制造和顯示面板制造中得到廣泛應(yīng)用，是微電子工業(yè)中優(yōu)良的等離子蝕刻、清洗氣體。“隨著集成電路、顯示面板、光伏企業(yè)產(chǎn)能擴(kuò)充，NF?需求量將與日俱增。”中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司副總經(jīng)理王占衛(wèi)說(shuō)。
高端化差異化是方向
盡管我國(guó)電子特氣產(chǎn)業(yè)化取得一定進(jìn)展，市場(chǎng)需求也在穩(wěn)步提升，但仍面臨著產(chǎn)品同質(zhì)化嚴(yán)重、低端產(chǎn)品過(guò)剩、高端產(chǎn)品缺乏的困境。
“整體來(lái)看，目前NF3在全球市場(chǎng)處于供過(guò)于求的狀態(tài)。”王占衛(wèi)表示，預(yù)計(jì)全球NF?市場(chǎng)總體需求量在3.6萬(wàn)噸/年左右，而供應(yīng)能力則為4.8萬(wàn)噸/年。
王占衛(wèi)強(qiáng)調(diào)，盡管目前國(guó)內(nèi)NF?產(chǎn)品同質(zhì)化已較為嚴(yán)重，但多家廠商仍有擴(kuò)充產(chǎn)能的計(jì)劃。據(jù)悉，目前，我國(guó)NF?產(chǎn)能達(dá)1.25萬(wàn)噸/年，且還有0.6萬(wàn)至1萬(wàn)噸產(chǎn)能正在規(guī)劃中，這不利于行業(yè)良性發(fā)展。短期看，降低同質(zhì)化，走差異化、高端化路線是NF?生產(chǎn)企業(yè)發(fā)展的路徑。
“在更高制程上，如前驅(qū)體、負(fù)壓鋼瓶等，我國(guó)電子特氣的供應(yīng)保障能力有待提升。”李紹波強(qiáng)調(diào)，電子特氣的發(fā)展要以行業(yè)為牽引，以產(chǎn)品為中心，推進(jìn)設(shè)計(jì)、裝備、材料和制造等各環(huán)節(jié)融合發(fā)展；同時(shí)依托國(guó)內(nèi)大循環(huán)，引導(dǎo)促進(jìn)國(guó)際大循環(huán)，以雙循環(huán)模式重塑產(chǎn)業(yè)鏈高質(zhì)量發(fā)展。
